| 校准标准轮廓仪和扫描探针显微镜 |
| RU2013130175 2013-7-3 发明授权 |
| 2015-1-10 |
| 领域 : 物理。内容：在校准标准轮廓仪和扫描探针显微镜，是由极化的压电材料制成的板，其相对两侧的电极贴附，该电极连接到恒定幅度和极性电压源，一个元件被连接到每个侧板与贴附式电极，所述板和几何尺寸的元素的选择，使一个运动的元件当电压施加到所述电极，每个所述元件具有至少一个平行的平坦表面相互平行的方向运动时元素的一个电压施加到电极。效果 : 本发明使校准探针显微镜和轮廓仪在一个或多个水平轴线位于平面所分析样品，和拓宽该范围的设备可作为校准标准轮廓仪和扫描探针microscopes.2DWG，2EX |
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