| 扫描探针显微镜的带有多探头传感器操作装置 |
| RU2013143062 2013-9-24 发明授权 |
| 2015-1-10 |
| 领域 : 物理。内容：显微镜装置包括平台(1)，样品架(2)与试样(3)，放置在扫描装置(4)，其与该平台(1)，接近单元(5)，记录系统(6)，由辐射源(7)和光电探测器(8)，回路式多探头传感器(9)，它包括底座(10)与柔性悬臂(15)，道钉(16，17)和第一调节单元(18)，安装通过第二调整单元(19)在把手(20)接口连接有旋转驱动装置(21)，连接到所述平台(1)，以及控制单元(30)和角定向单元(25)，其与该手柄(20)。效果 : 高精度安装的柔性悬臂相对于记录系统，高工作信号-噪声比，使在高振动条件下操作，声和电噪声和对流热量和质量exchange.23Cl，18的DWG |
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