| 物体表面的方法，使用扫描探针显微镜扫描 |
| RU2013137955 2013-8-13 发明授权 |
| 2015-1-10 |
| 领域 : 测量设备。内容：本发明涉及测量设备，在特别涉及使用扫描物体表面的扫描探针显微镜，并且可以用于确定浮雕的变化，线性尺寸和物理通道下物体表面的特性的电流。本实用新型扫描方法，其表面piezoscanner物安装在前初步分成至少两个部分，电流穿过至少一个部分表面，然后同时两个部分-具有和不具有电流通道进行扫描。效果 : 提高扫描效率而不使用特殊的电流的导电probes.2DWG |
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