扫描探针显微镜
 
JP2013131247  2013-6-24  发明申请

2015-1-8
 
  要解决的问题 : 采用光杠杆系统,使紧凑的扫描探针显微镜,并降低振动噪音的效果,初期光学调节简便。方法 : 扫描探针显微镜,悬臂1设置有尖端的探头3,和尖端的探头3通过样品表面之间的运动力作用在悬臂1通过使用检测从光源发出的光,采用光杠杆系统。光源设置在悬臂的尖端1,从光源照射光向光电二极管6。选择绘制 : 图。2
 
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