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用多频原子力显微镜进行热测量

US14224268 2014-3-25 发明申请

2015-1-8

描述了用于在原子力显微镜和相关MEMS工作中提取振荡悬臂或其它振荡传感器的较高本征模式或谐波中携带的信息的装置和技术。还描述了用于使用具有多个激励信号的接触谐振从压电、聚合物和其它材料提取信息的类似装置和技术。