| 电子显微镜和利用电子束图像捕获方法 |
| KR1020137031719 2012-5-24 发明授权 |
| 2014-12-26 |
| 本发明是指，间歇地用电子显微镜中的检测二次电子信号照射电子束样品2，照射的电子束短于运动补偿帧插值的任何脉冲宽度(TP)的检测时间，选择A(T2)，所述检测时间获得A2使用二次电子2的二次电子信号，其特征在于，形成相位。 样品的样品内部结构通过反射来自所述叠加待传送的图像的不必要的信息来执行必要的处理，例如光源的层压界面或柱栅阵列波长，二次电子结构的样品信息选择性 : A和2，已经变得可以获得相位。 |
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