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扫描光学显微镜
US14298707 2014-6-6 发明申请
2014-12-25
一种扫描光学显微镜,包括光源、聚光光学系统、载物台、使照明光和载物台相对位移的扫描单元、检测光学系统和光检测器。 在光源的聚光光学系统侧设置光调制元件和中继光学系统, 并且光调制元件被定位成使得从光调制元件出射的关于预定振幅的调制信号的照明光与光会聚光学系统的光轴重合,并且光会聚光学系统的瞳孔的位置和光调制元件的位置至少通过中继光学系统共轭。
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