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扫描探针显微镜及其操作方法

US14140104 2013-12-24 发明申请

2014-12-25

提供了一种扫描探针显微镜及其操作方法。扫描探针显微镜包括配置成固定物体的卡盘。堆叠器被配置成将一个或多个悬臂加载到磁头模块上。堆垛机提升元件被配置为在上下方向上移动堆垛机。