| 扫描器装置及包括该原子力显微镜 |
| KR1020130078245 2013-7-4 发明授权 |
| 2014-12-19 |
| 本发明涉及一种扫描装置，可防止不必要的共振，与原子力显微镜，其包括相同。一种扫描设备，根据本发明的一个实施例包括一个固定体，其固定在所述外部；一驱动件相对移动时，相对于所述固定体。致动器具有固定支撑体的另一端端操作驱动部；和主连接件和副连接件具有弯曲机构与连接结构固定体和驱动部分。所述主连接件和副连接件位于之间的距离，从而改变固定体和根据所述驱动件驱动的主驱动部的位置连接部分大于固定体之间的距离变化并根据所述驱动部件所述驱动的驱动部在所述副连接件的位置。版权kipo Br>2015< |
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