| 控制程序，控制装置和控制方法，扫描探针显微镜 |
| JP2013117181 2013-6-3 发明申请 |
| 2014-12-15 |
| 要解决的问题 : 样品测得的表面不规则性时而存在的扫描探针显微镜，测量的物理特性值，从而不被影响的不均匀，不规则或快速准确地测量物理属性值。方法 : 扫描探针显微镜控制装置20，在待测样品表面的用于第一的线1和输出控制信号和第二控制信号输出部(1)21a，一个第一根据线1的控制信号通过扫描获得的测量的表面样品的信息的基础上的凹槽或凸起的凹中的一条线或投影凹陷扫描速度设定为低于在部分以外的扫描速度和扫描速度设定部23，其中一个基于设定速度的扫描线第一的线2并输出控制信号和第二控制信号输出部(2)21b提供。选择绘制 : 图。1 |
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