| 消除聚焦离子束扫描电镜成像时的景深假像的方法 |
| CN201410392472.6 2014-8-11 发明申请 |
| 2014-12-10 |
| 本发明实施例提供了一种消除聚焦离子束扫描电镜成像时的景深假像的方法，该方法包括：将多孔介质薄片在加热的景深消除剂中加压浸泡，得到具流体景深消除剂填充层的多孔介质薄片；对具流体景深消除剂填充层的多孔介质薄片进行处理，得到具固体景深消除剂填充层的多孔介质薄片；对具固体景深消除剂填充层的多孔介质薄片进行聚焦离子束扫描电镜成像。该方案由于得到具流体景深消除剂填充层的多孔介质薄片，并进行处理，得到具固体景深消除剂填充层的多孔介质薄片的过程，使得多孔介质薄片上开口尺寸较大、深度较浅的介孔及大孔被填充，大孔底部不被显示，减少了景深假像的存在，从而可以有效消除聚焦离子束扫描电镜成像时的景深假像。 |
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