| 检查系统使用扫描电子显微镜 |
| KR1020130059791 2013-5-27 发明申请 |
| 2014-12-5 |
| 一种检查系统，使用电子扫描显微镜本发明根据检查的检查对象的利用电子束真空并保持扫描电子显微镜室，所述扫描电子显微镜室，连接到所述检查对象，使所述有机方便地照射红外线，红外接口的装置与分析复合图形用户接口，所述扫描电子显微镜室分离从所述其下方的检查对象的安装阶段，所述扫描电子显微镜室和在阶段在所述红外和一种分析器，包括输送的饲料装置，所述扫描电子显微镜检查对象物之间的等待状态所述室，并能保持。因此，根据本发明，检查较大的对象进行分析，无需破坏另一层的检查对象的检查大高度的降低插入部和可的阶梯形部分。 |
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