| 扫描电镜叠加计量系统和方法 |
| US14290556 2014-5-29 发明申请 |
| 2014-12-4 |
| 本发明涉及一种执行SEM覆盖计量的方法，其中扫描方向基本上与覆盖目标结构的特征放置或图案化对准或平行。 通过在与特征放置相同或相似的方向上扫描目标结构，避免了感兴趣边缘处的模糊，并且图案元素之间的线到线或边到边偏移不太容易受到在扫描的感兴趣边缘处的模糊引起的误差的影响。 例如，对应于至少两个样本层的至少两个线性图案元素可以沿着或平行于特征放置的方向(即，沿着或平行于图案元素的长边)被扫描。 |
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