| 一种可旋转探针原子力显微镜及扫描方法使用原子力显微镜 |
| KR1020130061798 2013-5-30 发明授权 |
| 2014-11-28 |
| 本发明是指探针夹用于固定导线的方法，涉及扫描使用的相同原子力显微镜和，在平面移动该标本，所述样品精细动作在垂直方向及相位和在平面，和水平驱动部分和，所述每个水平驱动单元结合于侧框架和导向延伸的垂直堆叠是一种，连接到车架垂直导向所述汽缸中，置换器还在竖直方向往复运动的多个垂直驱动部分和，耦合到垂直驱动器所述垂直驱动器与上下移动，重量探头，与旋转驱动构件和，所述探针连接探针耦合112a D驱动的旋转马达在所述自旋电机在可旋转，旋转探针耦合到所述样品的非定向的底面扫描，从而具有标准分辨率，所述探针在所述旋转部的旋转中心以对探头位置的旋转扫描头的中心部。本发明涉及一种探头旋转单元探头的方向性，而不管预定姿势的经编码转换根据扫描方向，值或测量丢失的数据的坐标变换和扫描表面的试样。 |
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