| 调整一扫描探针显微镜的一种方法，和，扫描探针显微镜 |
| JP2013099558 2013-5-9 发明申请 |
| 2014-11-20 |
| 要解决的问题 : 样品高精度不使用任何特殊观察光学系统和所述位置的所述该场的中心的视图的扫描型探针单元可以被对齐，并提供一种技术。溶液 : 视觉观察光学系统和一个光学系统用于检测所述基于获取的光学图像上的一悬臂定位通过一悬臂，和观察该领域的视图，所述探针单元120的光学系统1指定的所述该中心的位置关系(步骤S3)。然后，一个第二的距离从每个其它对应到该位置关系。1所述的基础上的所述的不同位置的所述样品在一种状态，其中所述样品中获得通过观察光学系统和一个光学图像扫描探针单元120从图像得到的扫描型探针和，样品的光学图像扫描探针图像和所述图像计算一个所述的中心的偏差，和所述位置第一1一距离对应于所述量之间关系的所述的图像和所述的中心的偏差和基于所述的中心的位置上所述的场所述扫描型探针单元120的视图和一第二，2(步骤S5)中的关系指定的位置关系，将选择的绘制 : 图5 |
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