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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

一种应用于快速扫描原子力显微镜的探针自减振方法

CN201410398614.X 2014-8-13 发明申请

2014-11-19

一种应用于快速扫描原子力显微镜的探针自减振方法，所述的方法利用干法刻蚀法在原子力显微镜的探针背面加工ZnO薄膜，利用ZnO薄膜的逆压电效应，通过控制ZnO薄膜产生应力，为探针引入可调节外部阻尼，调整探针弹性系数，并提高探针的第一振荡频率，使探针能应用于快速扫描原子力显微镜，消除探针快速扫描过程中的自激振荡。