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模块式扫描探针显微镜用探针架
CN201410334873.6 2014-7-15 发明申请
2014-11-19
本发明公开了一种模块式扫描探针显微镜用探针架,包括支架,在支架上有线路板和安装探针的夹持架,所述的线路板与支架之间为插槽式连接,所述的夹持架与支架之间为分体式并夹持架插入支架内,夹持架与支架形成镶嵌结构。本发明的模块式扫描探针显微镜用探针架具有操作简单、夹持效果好、探针定位精准、提高测试精度和测试效率、制作成本低的优点。
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