| 扫描带电粒子显微镜，图像获取方法，和电子检测方法。 |
| EP14168549 2014-5-15 发明申请 |
| 2014-11-19 |
| 一扫描带电粒子显微镜是提供其可以选择性地检测和图像的电子。所述扫描带电粒子显微镜(100)具有 : 一个源(1)的带电颗粒束(E1)，一个物镜(6)用于使所述带电粒子束(E1)从所述源发出的(1)成聚焦在样品(S)，一扫描偏转器(4)，用于扫描该聚焦的带电粒子光束(E1)在所述样品(S)，一排序部分(10)，用于分拣出发射的电子在给定的发射角度从释放的电子从所述样品(S)在响应于所述样品的照射(S)所述带电粒子光束(E1)，一个电子偏转器(20)用于产生一个偏转场偏转所述的电子(E2)分类出根据它们的能量，一个检测部分(30)用于检测所述的电子(E2)通过所述的电子偏转器偏转(20)，和一个图像生成部分(44)用于创建一个图像，基于所检测的结果进行通过所述检测部分(30)。 |
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