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制造生物传感器的方法
US10601144 2003-6-20 发明申请
2004-10-7
本发明提供了一种制造生物传感器的方法。 所述生物传感器包括在基底上的导电材料和在基底上形成的电极图案,所述图案具有不同的特征尺寸。 使用宽场激光烧蚀将导电材料部分地从基座上去除,使得少于90%的导电材料保留在基座上,并且电极图案具有在两点之间延伸的边缘。 所述边缘与在两点之间延伸的线的标准偏差小于约6um
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