| 所述扫描探针显微镜 |
| JP2013088018 2013-4-19 发明申请 |
| 2014-11-13 |
| 要解决的问题 : s/N比是改进，以提供一个扫描探针显微镜。溶液 : 光照射部分2，该光学路径长度从所述的悬臂1用于改变所述光学路径长度变化机构(例如一个光照射单元移动机构6)被提供。一种通过改变光照射单元2从该悬臂1所述光学路径长度，所述所发出的光的焦点从所述光发射部分2可以适于该悬臂1。因此，所述所发出的光的焦点从所述光发射部分2被防止，s/N比可以被改进。在特定的，所述照射光的一个非常小的部分从所述的悬臂1包括构件有效地防止挤压所述可以，在一个扫描探针显微镜s/N趋于降低该比能被有效地改进的，将选择的绘制 : 图。1 |
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