| 一种光镜电镜关联成像用光学真空冷台 |
| CN201410363314.8 2014-7-28 发明申请 |
| 2014-11-12 |
| 本发明涉及一种光镜电镜关联成像用光学真空冷台，它包括：一真空腔室，一设置在真空腔室的一端的防污染系统适配接口，一设置在真空腔室的另一端的电镜样品杆适配接口，一设置在真空腔室的上壁面的上光学窗口，一设置在真空腔室的下壁面并与上光学窗口相对的下光学窗口，一设置在真空腔室的一侧的真空系统适配接口，以及一设置在电镜样品杆适配接口与上、下光学窗口之间的真空阀；其中，真空阀与电镜样品杆适配接口之间构成了一预真空通道，在预真空通道的一侧设置有一预抽真空阀门；在电镜样品杆适配接口、上光学窗口、下光学窗口、真空系统适配接口和防污染系统适配接口处均设有真空密封圈。本发明可广泛应用于光电关联成像领域，也可单独应用于光学显微成像。 |
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