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用于扫描力显微镜探针与晶片
EP13166945 2013-5-8 发明申请
2014-11-12
晶片复合体(1)与多个探针(2)用于原子力显微镜,的硅晶片(6)中标识的规则构筑的晶片架(8)可以打破进行设置。本发明将现有的单晶硅的保持元件(11)的至少两个并置的探针(2)形成探针条带(3)通过直接连接(16)相互和保持元件(11)的外探针(2)的探针条带(3)通过支架(17)与晶片架(8)连接,预定破裂点形式的槽口(18‘,19’)(18,19)包括。
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