一个显微镜模块用于成像一个样品
 
EP13167360  2013-5-10  发明申请

2014-11-12
 
  一个显微镜模块(300)用于成像一个样品(270)公开了,该显微镜模块(300)包括至少一个照明物镜(210)用于产生一照明束沿照明光束路径(215)设置到照射下表面的所述样品(270)和至少一个检测物镜(220)具有一个检测路径(225)。所述检测路径(225)是在一个角度,以所述的照明光束路径(215)。
 
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