扫描探针显微镜
 
US14075734  2013-11-8  发明授权

2014-11-11
 
  一种扫描探针显微镜,其在初始悬臂安装时和悬臂更换时便于光轴调节操作。 在光轴调节操作期间,在视频摄像机图像上的亮度位置的悬臂和激光中心处显示标记,并且可视地监视和叠加跟随激光位置的移动的标记。 此外,使用在初始光轴调整之后存储的标记位置坐标数据来执行新悬臂的光轴调整。 此外,通过设置目标位置坐标,可以数值地确定激光的移动方向和到目标位置的距离。
 
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