| 特定部分检测的方法和使用该相同的样品分析仪 |
| JP2009051773 2009-3-5 发明申请 |
| 2010-9-16 |
| 要解决的问题 : 以精确地搜索所述相同的点，而无需任何标记虽然图案，其上可以识别用于搜索所述相同的亮度图像点在一个样品前和后一负载中所需的测试是一种传统的数字图像相关的方法，它是必要的，以执行标记当不存在这样的图案。溶液 : 即使在一金属样品片进行表面平滑，有精细的不规则形貌不同的用于每个样品和部分。因此，相关系数的分布是通过一技术获得的类似到所述数字图像相关的方法(S3～S8)由所述不规则的简档(参考负载测试之前)样品的高度分布和不规则轮廓(比较目标高度分布)的一个负载测试后样品(S1，S2)。一个所述负载测试后样品上的点对应到一前所述样品上感兴趣的点所获得的负载检查是通过假设一个位置给出最大相关系数是相同的点(S9; S10)。版权 : (C)2010，inpit |
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