| 显微镜系统 |
| JP2014122853 2014-6-13 发明申请 |
| 2014-10-30 |
| 要解决的问题 : 所述对象的所希望的区域相对于所述焦点的位置的所述光学系统能够自动地检测该焦点位置的检测方法和系统用于一显微镜和一聚焦位置。检测程序。溶液 : 从所述激光光源所发出的光，同时观察该冷凝的光被照射在一个对象，一个对象，以通过所述物镜被观察到是反射通过该光接收元件。一种多个所述的基础上接收元件所对应的像素的所述输出信号到所述像素数据被输出。评价值是基于多个像素的数据，并输出所述小于该极限值Emax和用于评价值计算噪声电平乘以该像素的数量被设定为大于所述enl。从所述物镜是所述当前位置zs1移动的同时在一个方向上朝向所述一组增益值被计算的。所述输出值是一个固定量达到极限值Emax每个增益是降低。该峰值是在所述所述物镜的透镜的所述Z方向位置被检测，将选择的绘制 : 图。8 |
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