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多探测器电子显微镜的安装结构
US14325166 2014-7-7 发明申请
2014-10-30
一种用于电子显微镜的检测器支撑件,包括检测器支撑环和柔性元件,其中每个柔性元件的第一端连接到支撑环,并且其中检测器支撑环和柔性元件配置成围绕电子显微镜的光轴以圆周布置支撑至少两个检测器,使得所述至少两个检测器中的每个检测器的光轴与电子显微镜的光轴相交,并且所述至少两个检测器的目标点在温度变化期间保持相对恒定。
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