| 一种应用于电子显微镜中的高稳定性扫描探针装置 |
| CN201410362781.9 2014-7-25 发明申请 |
| 2014-10-29 |
| 本发明涉及材料测试仪器领域，更确切地说涉及在原子尺度和介观尺度下对材料观察，测量和控制以及类似装置。本发明的内容是提供一种将扫描透射电子显微镜和扫描探针显微镜的功能结合起来的全新设计方案；并构建一种全压电陶瓷控制的三维空间精确定位装置，此装置可以在扫描透射电子显微镜中控制和移动扫描探针，使得探针接近或接触样品的表面，从而获得样品表面成像；可有效避免探针对样品的破坏，可以使用探针在透射电子显微镜下施加控制电场，诱发反应和改变材料的性质。 |
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