| 一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置 |
| CN201410386282.3 2014-8-7 发明申请 |
| 2014-10-29 |
| 本发明公开了一种基于扫描探针显微镜的激光检测装置，其包括设置在激光调节座上的激光器，设置在四象限调节座上的四象限探测器，以及用于放置探针的探针架，所述激光调节座和所述四象限调节座固定设置，所述激光器发出的入射光照射到所述探针的微悬臂上表面，并经所述微悬臂上表面反射进入所述四象限探测器内，所述激光器产生的激光光斑位于所述探针微悬臂的靠近端部的一侧，所述探针架设置在导轨座上，所述探针架上固定设有定位块，所述定位块上设置有用于放置探针的定位槽。本发明的激光检测装置光路简单，操作方便，且更换探针后无需调节激光光路，能大大缩短检测周期，提高检测效率。 |
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