| 扫描电镜背散射电子探测器 |
| KR1020130104138 2013-8-30 发明授权 |
| 2014-10-29 |
| 本发明涉及一种背散射电子检测器的扫描电子显微镜，包括 : 光电二极管(200)。它安装在基板(100)上，形成由背散射的电子和空穴电子标本。光电二极管(200)包括第第一电极(210)，其安装在基板(100)，一种半导体器件(220)，其由依次层叠n型非晶半导体层(221)，非晶n-型半导体层(222)，和非晶P型半导体层(223)用CVD方法，第第二电极(230)，其安装在所述的非晶P型半导体层(223)。版权kipo Br>2015< |
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