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该装置和用于扫描电子显微镜的扫描精度的方法

KR1020130149088 2013-12-3 发明授权

2014-10-24

本发明涉及电子显微镜所产生的电子束在供油单元耦接a确定照射的精度是否涉及一种装置和方法，特别是电子束缺陷在信号读出线，所述读出线连接到检测单元，检测传感器发出的信号包括扫描方向电子束的，可以是恒定的或指示是否扫描距离，且使它们更容易，准确。可以测量在高。