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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

可调光束点扫描电子显微镜和使用其的测量方法

KR1020130094300 2013-8-8 发明授权

2014-10-24

本发明涉及一种可调节的射束点的扫描电子显微镜及测量方法相同。扫描电镜(SEM)中具有电磁移动的电子束源的电子束炉样品的扫描电子显微镜(SEM)与直线照射，通过控制电子束的电子束点，照射在样品上，具有一定的长度和宽度彼此不同。测量光束时输出从电子束源，控制单元控制的电磁施加的电压来控制电子的比率和方向束斑。版权kipo Br>2015<