| 在一个扫描型电子显微镜 |
| JP2013269150 2013-12-26 发明申请 |
| 2014-10-23 |
| 所述的目的 : 本发明，一种扫描电子显微镜中的气体，其被设置在所述气体样品可以容易产生一放大图像的所述装置和所述的表面，以提供。结构 : 电子枪，一聚光透镜; 一个物镜，扫描装置，检测器和至少一个筒，筒和所述气体样品和一个分区中所述的真空之间设置壁，一真空被设置在该分区的接触与该筒或筒和所述部分面对所述侧的所述样品，所述样品的气体被设置在一个非接触状态在所述保持和调节机构，该气体通过该电子束期间从该筒被发出，被设置在所述气体样品，平面扫描时同时施加2所述二次发射的电子或反射的电子或X-射线，通过为所述筒的一真空在一真空检测器用于检测和捕获，通过X-射线检测器2检测或反射的电子或二次电子信号，或基于在所述样品中流动的电流和图像生成装置用于产生一个图像，将选择的绘制 : 图1 |
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