| 样品分析仪和样品分析方法。 |
| JP2008307857 2008-12-2 发明申请 |
| 2010-6-17 |
| 要解决的问题 : 提供一样品分析仪能够局部均匀性评价的样品的表面或一个接口，通过简单地X-射线强度分布转换成一个实际的图像。溶液 : 一样品2，它是一个测量对象和一个反射镜3被照射的X-射线与干扰X-射线，和一个控制部分7控制一个入射角度或一个所述样品的入射位置到所述X-射线2或所述X-射线反射镜3，使得一个第一反射从所述样品和第二反射的X-射线X-射线从X-射线反射镜3被重叠在一起。然后，所述X-射线强度分布由所述重叠第一之间的干扰反射的反射X-射线的X-射线和第二是检测通过检测部8，和一个操作处理部9将所述X-射线强度分布成实际空间数据。版权 : (C)2010，inpit |
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