| 具有能量选择检测器系统扫描粒子显微镜 |
| US14252034 2014-4-14 发明申请 |
| 2014-10-16 |
| 本发明提供了一种用于检查对象的扫描粒子束显微镜。 扫描粒子束显微镜包括具有物镜的粒子光学系统。 所述显微镜还包括检测器系统，所述检测器系统具有粒子光学检测器部件，所述粒子光学检测器部件被配置为在从所述物体发射的粒子的光束路径中产生静电场。 检测器系统被配置成在发射颗粒已经通过静电场之后空间地过滤发射颗粒，并检测过滤的发射颗粒的一部分。 粒子光学检测器部件被配置成使得空间滤波根据发射粒子的动能对发射粒子进行滤波。 |
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