| 扫描型探针显微镜 |
| CN201420237552.X 2014-5-9 实用新型 |
| 2014-10-15 |
| 本实用新型提供一种在扫描器的顶部搭载试料、利用光学显微镜从其上方进行观察的结构的扫描型探针显微镜，并提供一种能够进行试料的透过照明且进行基于光学显微镜的试料的观察的扫描型探针显微镜。扫描器(1)的致动器为筒状压电元件(11)，在其顶部的试料搭载部位设置与筒状压电元件的空洞连通的开口(贯通孔)，并且以非接触为前提而穿过筒状压电元件(11)的空洞内，其前端到达试料支架(3)的附近，并且在其前端配置有照明用光的照射机构(103)，通过设为上述结构，可以使来自照明用光的照射机构(103)的照明光经由试料支架(3)等而向试料的背面侧照射，从而实现基于光学显微镜的观察时的透过照明。 |
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