| 射频反射扫描隧道显微镜 |
| US14037024 2013-9-25 发明授权 |
| 2014-10-14 |
| 一种RF反射扫描隧道显微镜,适用于观察物体的表面, 并且包括与所述物体协作以在其间形成隧穿电阻器的探针, RF谐振电路,其与所述隧穿电阻器协作以形成LCR谐振电路,所述LCR谐振电路包括连接到电容器、电阻器和隧穿电阻器的并联连接的电感器;RF信号发生器,其经由定向耦合器将RF信号输出到所述LCR谐振电路;以及RF信号测量装置,其基于由所述LCR谐振电路反射RF信号而产生的反射RF信号来产生与所述物体的表面相关联的扫描结果。 |