| 扫描探针显微镜和扫描探针显微术 |
| WOJP14057158 2014-3-17 发明申请 |
| 2014-10-9 |
| 一个扫描探针显微镜是提供具有 : 一振动激励单元(14)用于振动一悬臂(12)在所述基础一振动的激励信号，一位移检测单元(15)，用于输出一位移信号指示所述位移的所述悬臂(12)，一相位调整单元(30)用于施加一个相位偏移到所述相位之间的差所述振动激励信号和所述位移信号，一个相位信号生成单元，用于产生一相位信号包括有关的信息到该振动激励所述相位之间的差值信号和所述位移信号和所述相位偏移，和一个控制器(25)。用于控制所述探针之间的距离(11)和一个样品(19)所述的基础上的所述相位信号。相位调整单元(30)相加一第一相位中存在的量，以取消一个初始相位差的状态其中所述探头(11)和所述样品中(19)中是不与每个其它接触，和一第二相位量的0到π/2[rad]，并将其结果作为所述相位偏移到所述的相位差。 |
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