| 样品检测装置和样品分析仪包括其 |
| JP2011139302 2011-6-23 发明授权 |
| 2013-9-18 |
| 要解决的问题 : 以提供一样品检测装置能够容易地和光学检测的样品具有高精度,而不需要一个光自动聚焦操作,和以提供一试样分析装置包括所述样品检测装置。 溶液 : 所述样品用于光学检测装置检测的样品在一衬底包括 : 一个光学系统34至40照射所述基板33与光,和倾斜装置,用于分别移动三个点的所述衬底上的聚焦光在所述衬底33进行所述的用于检测该样品区域,在一沿所述的光学轴方向或一倾斜方向与所述的光学轴相对于所述的方向作为一参考线,基于预先获取的信息涉及所述基板33。 版权 : (C)2012,inpit |