| 电子显微镜和样品观测方法。 |
| WOJP14057874 2014-3-20 发明申请 |
| 2014-10-9 |
| 本发明是提供具有 : 一个二次电子探测器，其检测一电子时产生的电子光束从一电子枪被施加到一个样品(70)，监视器，其显示一次级电子图像该样品的一个输出的基础上从所述检测器，一气体引入装置(60)，用于排出气体到所述样品(70)，和一气体控制装置(81)，其控制所述量的所述气体以通过所述的装置被排出的气体引入装置(60)，使得一个中间室中的真空度具有所述二次电子探测器设置在其中被保持低于一个设定值(P1)当排出气体通过所述气体引入装置的装置(60)。因此，所述气体气氛中设置所述样品的显微镜图像可以使用所获得的检测器以其需要的是要施加一个电压。 |
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