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产业专利数据

扫描电镜图像的自动滤波

US13853123 2013-3-29 发明申请

2014-10-2

描述了一种自动评估扫描电子显微镜(SEM)图像的方法、系统和计算机程序产品。所述方法包括获得源图像和所述源图像的SEM图像。该方法还包括基于比较从源图像提取的源轮廓和从SEM图像提取的SEM轮廓来评估SEM图像，以确定SEM图像是通过还是失败。