| 采用扫描电子显微镜的检查系统 |
| CN201410100216.5 2014-3-18 发明申请 |
| 2014-10-1 |
| 一种检查系统，包括：自动化光学检查装置，用于通过采用光检测检查对象的缺陷；扫描电子显微镜装置，用于通过采用电子束检查所述检查对象的所述缺陷，并且包括真空腔室；基台，位于所述扫描电子显微镜装置下方并与其分离，并且用于支撑所述检查对象；以及传送装置，与所述扫描电子显微镜装置和所述自动化光学检查装置连接，并且用于将所述扫描电子显微镜装置和所述自动化光学检查装置传送到所述基台上方的位置。在所述腔室和所述检查对象之间的间隙存有空气。因此，可以实现对大尺寸检查对象的检查以进行分析而不会损坏检查对象。 |
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