| 光显微镜和方法用于检查一显微样品 |
| EP14161303 2014-3-24 发明申请 |
| 2014-10-1 |
| 本发明涉及一种与一第一掩模的光显微镜，其具有从一个另一种用于同时分离生成多个从照明光的照明光的光线转发范围，与第一扫描装置，用于产生一扫描所述的照明光的光线和与样品架。根据本发明所述光显微镜，其特征是在使一第二掩膜具有分离的转发范围存在，其用于微调是小于所述的照明光线所述转发范围第一的掩模，其通过所述扫描第一扫描装置包括每个所述的照明不同的转发范围第二上依次光射线掩模可被传递，并使第二的扫描装置包括被存在用于修整的照明光的光线之间产生一扫描运动和所述样品架。还本发明涉及以一相对应的用于检查一显微样品的方法。 |
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