非相干透射电子显微镜
 
US14258004  2014-4-21  发明申请

2014-9-25
 
  透射电子显微镜包括产生电子束的电子束源。 提供束光学器件以会聚电子束。 提供试样保持器以将试样保持在电子束的路径中。 一个探测器被用来探测穿过样品的电子束。 透射电子显微镜可适于生成基本上彼此不相干地相关的两个或更多个图像,存储图像,并在各个图像的对应像素处组合幅度信号以提高信噪比。 可选地或附加地,透射电子显微镜可适于在曝光期间或曝光之间操作样品保持器以相对于光束光学装置移动样品,从而以非相干模式操作透射电子显微镜。
 
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