| 密封原子力显微镜池 |
| US14357011 2012-11-15 发明申请 |
| 2014-9-25 |
| 提供一种测量精度不降低且观察液的种类不受限制的密封AFM单元。 根据本发明的密封AFM单元包括 : 悬臂,包括探针; 用于固定所述样品的样品保持器; 扫描器,用于移动所述样品保持器; 盖部,其保持所述悬臂,以便将所述探针定位在所述样品的测量表面附近; 和主体部,该主体部是用于保持扫描器的部件,并且位于与盖部相对的位置,在该主体部中,盖部和主体部经由密封液体接合,以将观察液体密封在由盖部、主体部和密封液体形成的空间内,该密封液体与观察液体不同并且不与观察液体接触。 |