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样品结构分析方法、透射电子显微镜和计算机可读非瞬时记录介质

US14106352 2013-12-13 发明授权

2014-9-23

根据一个实施例，样本结构分析方法包括产生光束，然后将光束施加到样本上的多个观察区域，以及从已经穿过样本的光束获取多个衍射图像；以及比较所获得的衍射图像，并根据比较结果判断观察区域之间的差异，或者识别构成样品的晶体的晶界。