| 样品分析仪，样品分析方法，和样品分析程序 |
| JP2007268566 2007-10-16 发明申请 |
| 2009-5-7 |
| 要解决的问题 : 以测量样品表面上的应力分布在一短时间，而不限制测量位置。溶液 : 该样品中分析仪1，一种X-射线照射部10平行的X-射线束照射到样品12。一个透射X-射线检测部分14检测发射的X-射线传输通过所述样品12。一衍射X-射线检测部分15检测由所述样品12衍射的X-射线衍射。一个操作部分16指定一个衍射所述样品上的位置从由所述发送一检测结果X-射线检测部14，和确定所述的基于衍射的X-射线衍射的角度在一检测结果由该衍射X-射线检测部分15。进一步，所述操作部16计算应力从所述衍射角度，和确定所计算出的应力被所述指定的衍射位置上的应力。版权 : (C)2009，inpit |
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