| 所述样品上缺陷分析仪 |
| JP2005002298 2005-1-7 发明授权 |
| 2013-1-30 |
| 本发明公开了一种用于促进过程的方法和装置实现这里提供了一种分析工具上。在一个实施例中，一个装置包括一个分析仪模块设置用于管理一个分析器工具和使一高分辨率通过所产生的图像分析仪工具被呈现在一个显示。该装置还包括一个检测装置接口模块设置用于模拟一个检查元所述显示中的接口。所述检测装置接口包括特征，其是可用在一相应的检查工具，和所述检测装置接口是基于至少在部分上的缺陷结果从所述检查工具。在一个实施例中，该分析仪模块执行，而无需知道所述检测装置的接口模块，以及反之亦然，和所述装置包括一同步机构，其所知道的这些两个模块，还能够通信的与这些两个模块。 |
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