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微流控器件和外部压电致动器

US13173901 2011-6-30 发明申请

2013-1-3

一种流体泵送装置，包括外部耦合到微流体装置的压电致动器。压电致动器具有响应于偏置电压的施加而沿纵向轴线的轴向位移。压电致动器的轴向位移操作微流体装置的内阀和内泵室之一。