| 使用扫描探针显微镜进行自适应跟踪的方法和装置 |
| US14211484 2014-3-14 发明申请 |
| 2014-9-18 |
| 描述了用于使用扫描探针显微镜自适应地跟踪样品的特征的方法和设备。 该自适应技术提供了一种用于跟踪特征扫描到扫描的自适应方法，尽管特征形状由于例如样品的演变/转变状态和/或由于例如样品的移动和/或压电管致动器的漂移而发生实际的或明显的变化和/或实际的或明显的变化位置而发生实际的或明显的变化。 在优选实施例中，可以逐行或逐子部分地处理每个扫描，并且可以实时或离线地分析每个扫描。 这种处理技术提高了速度、处理、反应和显示时间。 |
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